Дар раванди ҷойгиркунии буғи плазма ба кимиёвӣ (PECVD), ҳар як пайвасти барқӣ, аз интиқоли қувваи RF то назорати гази коркард, мустақиман ба якрангии ҷойгиркунии плёнкаи тунук ва ҳосили чип таъсир мерасонад. Дар рӯ ба рӯ шудан бо муҳити сахти таҷҳизоти миниатюрӣ, вакууми баланд ва дахолати қавии электромагнитӣ,WAGOПайвасткунакҳои picoMAX®, бо се бартарии асосии худ - "паймонӣ, эътимоднокӣ ва самаранокӣ", ба роҳи ҳалли беҳтарини пайвастшавӣ барои системаҳои PECVD табдил ёфтаанд.
Тарроҳии инноватсионӣ ва компактӣ
Мутобиқшавӣ ба тарҳбандии камераҳои дақиқ
Фазои дохилии таҷҳизоти PECVD маҳдуд аст, ки ҷойгиркунии зичи хатҳои қудрат, сигнал ва ҳассосиятро дар атрофи камераи реаксия талаб мекунад. picoMAX® тарҳи якпружинӣ ва дуҷонибаро бо қадамҳои сершумори сӯзанҳои 3.5/5.0/7.5 мм истифода мебарад. Пас аз ҷуфтшавӣ, он нисбат ба маҳсулоти қаблӣ 30% камтар ҷой ишғол мекунад ва ба талаботи ноқилҳои атрофи камера комилан мутобиқ мешавад. Пайвасткунаки навъи сӯрохи он қариб пурра дар сарлавҳаи сӯзан ҷойгир карда шудааст, ки васлкунии паҳлӯ ба паҳлӯро бе талафи сутунҳо дастгирӣ мекунад, истифодаи тахтаи схемаро ба таври назаррас беҳтар мекунад ва имкон медиҳад, ки хатҳои сигнал ва барқ бе дахолат ба майдони ҷараёни гази раванд ҷойгир карда шаванд.
Ҳимояи мустаҳкам аз шароити шадиди корӣ
Равандҳои PECVD вакууми баланд, плазмаи басомади баланд ва ларзишро дар бар мегиранд, ки ба эътимоднокии пайвасткунак талаботи сахт мегузоранд. picoMAX® дорои сохтори устувор бо муқовимати ларзиш то 12 г мебошад, ки аз сустшавии пайвастшавӣ, ки аз сабаби ларзиши басомади баланд ба вуҷуд меояд, пешгирӣ мекунад. Он инчунин тарҳи зидди воридкунии нодуруст ва дастгоҳи қулфкуниро дар бар мегирад, ки хатогиҳои насбро бартараф мекунад ва аз қатъи тасодуфӣ пешгирӣ мекунад ва кори пайвастаи таҷҳизотро бидуни қатъи вақт таъмин мекунад.
Пайвасти зуд бидуни асбоб
picoMAX® дорои технологияи пайвастшавии фаврӣ бидуни асбоб мебошад, ки имкон медиҳад, ки ҳам симҳои якқабата ва ҳам бисёрқабата бо пайвасткунакҳои фишори хунук пайваст карда шаванд. Пайвастҳои мураккаби симӣ дар як қадам анҷом дода мешаванд, ки самаранокии васлкуниро ба таври назаррас беҳтар мекунад ва давраҳои ислоҳи хатогиҳоро кӯтоҳ мекунад. Тарҳи модулӣ бо равандҳои кафшери рефлекторӣ мувофиқ аст ва ба ниёзҳои кам кардани хароҷоти истеҳсолоти автоматӣ ҷавобгӯ аст. Он инчунин ҳама сенарияҳои пайвасти PECVD-ро дар бар мегирад: қадами 3.5 мм симҳои сигналии 0.2-1.5 мм²-ро дар бар мегирад, дар ҳоле ки қадами 5.0/7.5 мм хатҳои барқи 16А-ро дастгирӣ мекунад. Он усулҳои насби сим ба тахта ва деворро дастгирӣ мекунад, бо симкашии шкафи идоракунӣ ва ковокӣ мувофиқ аст ва ба стандартҳои бехатарии барқии GB/T 5226.1 мувофиқат мекунад ва барои устувории раванд мудофиаи мустаҳкам эҷод мекунад.
Дар саноати нимноқилҳо, ки дар он дақиқии раванд дар сатҳи нанометр муҳим аст, пайвастҳои боэътимод кафолати ҳосилнокии баланд мебошанд.WAGOpicoMAX®, бо консепсияи инқилобии тарроҳии маҳсулот, ба "андозаи хурд, иҷрои баланд" дар доираи фазои паймон ноил мегардад ва барои таҷҳизоти PECVD роҳҳои ҳалли пайвасти устувор, самаранок ва дарозмуддатро пешниҳод мекунад. Ин ба истеҳсолкунандагони нимноқилҳо кӯмак мекунад, ки мушкилоти пайвастҳои дақиқи равандро паси сар кунанд ва дақиқии ҳар як чипро дар сатҳи микрометр ҳифз кунанд.
Вақти нашр: 13 марти соли 2026